- Fonte de Elétrons (Canhão): Emite feixe de elétrons de alta energia (emissão termiônica ou de campo).
- Lentes Condensadoras: Focam e moldam feixe para iluminação uniforme da amostra.
- Abertura: Limita diâmetro do feixe, exclui elétrons dispersos, melhora resolução.
- Porta-Amostra: Posiciona amostra precisamente no caminho do feixe; pode inclinar/rotacionar.
- Lentes Objetivas: Ampliação primária; determinam poder de resolução.
- Lentes de Projeção: Amplificam further imagem no detector/tela.
- Detector / Tela de Visualização: Tela de fósforo, CCD/CMOS, ou detector de elétrons direto para captura digital.
- Sistema de Vácuo: Vácuo alto/ultra-alto (bombas iônicas, turbomoleculares) para prevenir dispersão do feixe.
- Software de Controle: Ajusta parâmetros do feixe, ampliação, foco, staging.
- Aquisição e Processamento de Imagem: Média de frames, correção de drift, filtragem de Fourier, reconstrução 3D.
- Sistema de Resfriamento: Estabiliza temperatura da coluna para minimizar deriva térmica.
Juntos, estes subsistemas permitem imagem em escala nanômetro-a-atômica para ciência de materiais, biologia e nanotecnologia.
