Por definição, um vácuo é um espaço desprovido de matéria — incluindo ar. Ar é uma mistura de gases (principalmente 78% nitrogênio, 21% oxigênio, 1% argônio, mais gases traço e vapor d'água). Remover estes gases cria um vácuo.
Na prática, um vácuo "perfeito" (zero partículas, pressão zero) é fisicamente inatingível. Categorizamos vacuums por faixa de pressão:
| Regime | Faixa de Pressão | Ambiente / Aplicação Típica |
|---|---|---|
| Baixo Vácuo / Vácuo Bruto | 1 atm → 1 mbar (100 Pa) | Aspiradores, termoformagem, desgasificação |
| Médio Vácuo | 1 mbar → 10⁻³ mbar | Liofilização, revestimento, sputtering |
| Alto Vácuo (HV) | 10⁻³ mbar → 10⁻⁷ mbar | Tubos eletrônicos, aceleradores de partículas, ciência de superfícies |
| Ultra-Alto Vácuo (UHV) | 10⁻⁷ mbar → 10⁻¹² mbar | MBE, STM, detectores onda gravitacional (LIGO) |
| Extremo Alto Vácuo (XHV) | < 10⁻¹² mbar | Física de superfícies avançada, física atômica |
Mesmo em UHV (~10⁻¹⁰ mbar), há ~3 milhões de moléculas por cm³. O livre caminho médio excede 100 km — moléculas batem nas paredes da câmara muito mais que umas nas outras.
Num sistema UHV bem bombeado, o gás residual é dominado por Hidrogênio (H₂) (difunde para fora de paredes de aço inoxidável) e Monóxido de Carbono (CO). Gases nobres e metano são menores. Vapor d'água é principal contaminante em sistemas HV, desorbendo lentamente das superfícies da câmara.
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